|
|
 |
|
| 基盤サイズ
|
板 厚 |
材 質 |
| 2.5” |
0.06”, 0.09” |
QZ, SL |
| 3” |
0.06”, 0.09” |
QZ, SL |
| 4” |
0.06”, 0.09” |
QZ, SL |
| 5” |
0.09”, 0.18” |
QZ, SL |
| 6” |
0.09”, 0.25” |
QZ, SL |
| 7” |
0.12” |
QZ |
| 9” |
0.12" , 0.20" , 0.25" |
QZ |
| 3”×5” |
0.09” |
QZ |
|
|
※お客様の個別仕様も制作可能の場合があります。
ご注文の際は弊社営業部にお問い合わせください。 |
|
| 項目 |
レチクル |
マスターマスク
|
コピーマスク
|
| 材質 |
QZ |
QZ, SL |
QZ, SL |
| 短寸法精度 |
±0.05〜0.2um |
±0.1〜0.3um |
±0.3〜1.0um |
| 長寸法精度 |
±0.1〜0.3um |
±0.1〜0.5um |
±1.5um |
| 欠陥 |
1.0um以上
0個〜 |
1.0、2.0um以上
0.1個/cm2〜 |
2.0um以上
0.3個/cm2〜 |
| ペリクル |
装着可能 |
QZのみ可能 |
不可 |
|
|
※お客様の個別仕様も制作可能の場合があります。
ご注文の際は弊社営業部にお問い合わせください。 |
|
|
